就在成果公布的第二天,ASML体系内的三家计算光刻与掩模工具供应商便相继发布公告,宣布不再为脱离其整机体系的独立设备项目提供接口与模型支持。
德国蔡司等投影光学供应商也宣布收紧技术合作。
所谓计算光刻软件,又称作芯片制造的软件大脑,它决定着设计图形能不能被准确地转移到晶圆上制成芯片。
没有它一切免谈。
要知道越先进的制程,对计算光刻要求越高,比如极紫外光刻机的7纳米工艺,仅一层掩模就包含数十亿个图形边缘,单凭人类根本无法手动修正。
必须依靠计算光刻软件进行光源建模、掩模校正、成像仿真和工艺窗口验证等。
至于先进的投影光学更不用说,同样是整套光刻系统中的关键一环,对芯片图形能否精确成像有着至关重要的作用。
欧洲供应商这时候选择在重新报价的基础上,再次加码。
无疑是想直接封死整条独立光刻设备的供应链。
这样就算李傲带领的项目组成功攻克工业级短波光源,缺少了整机中相配套的环节,那么严格来说造出来的光源也和一个高端点的手电筒没什么区别。
尤其当这些消息被全球主流媒体报道后,似乎所有人都默认了一件事情。
那便是美利坚这种把制造全都外包出去的国家,不可能建立完整的下一代独立光刻技术体系。
当新闻在互联网上蔓延后,顿时又引起新一轮激烈讨论。
如果放在一个多月前,这些消息同翻倍报价一起全部宣布出来的话,那无疑会严重打击大家的自信心,对建立独立光刻技术体系不抱有希望。
然而刚刚经历了李傲带来的惊喜,网友们依旧有着殷切期望,对李傲产生了绝对的信任感。
仿佛无论欧洲供应商究竟采取什么不要脸的手段,面临怎样的困难险境,李傲都能够带领科学家与工程师取得成功。
在海量网友的努力下,李傲这个名字始终牢牢占据着趋势榜首,话题评论区全是支持计划、相信下一代独立光刻技术体系一定能建立起来的留言。
“荷兰人也太霸道了,这是想要彻底锁死我们的独立光刻技术路线啊!”
“没有计算光刻软件确实不行。”
“放在之前我可能真的会绝望,根本想不到面对这种困境要怎么找到出路,感觉比当初打赢独立战争还要困难得多,直到看见李教授一个多月取得光源重大进展,这让我坚信奇迹肯定会发生。”
“相信李教授就完事了。”
“无论有多少困难,我们一项一项解决就好。”
“李教授加油。”
“越是这样步步紧逼,越说明荷兰人这是害怕了,他们也担心我们会研发成功。”
“大家放心好了,硅谷其实也有人一直在开发计算光刻软件,何况现在还有李教授在。”
“不知道为什么,总感觉李教授能让人莫名安心,永远猜不到什么时候就会有惊喜拿出来。”
伊利诺伊州。
阿贡国家实验室会议厅内,下一代光刻机专项研究项目组的核心成员正在召开会议。
在获得稳定的193纳米输出、探测到极紫外谱线,并正式更名为下一代光刻机专项研究项目组后,众人立刻马不停蹄地规划后续任务,尽可能缩短研发周期。
至于欧洲供应商最新发布的公告,众人自然也要在会上作详细说明并展开讨论。
“看来这次我们在短短一个多月内成功获得稳定的193纳米输出,确实把那帮傲慢的欧洲人给刺痛了,否则也不会一下子搞出这么多针对我们的操作。”
会议上斯坦顿率先开口,他爽朗的声音充满了整个房间。
话音才刚落下,对面的哈特利便忍不住接话附和。
“其实昨天新出的几项公告对我们并无影响,毕竟既然要建立独立的下一代光刻体系,那肯定不能只解决一套光源。
“就算欧洲企业没有搞出这些乱七八糟的针对性动作,计算光刻和投影光学,我们也会围绕新路线自己做。”
在他们眼中,欧洲那些企业昨天的操作,更像是对相干短波光源研究成果的认可。
属于一种荣誉勋章。
说明这确实是非常重要的研究成果。
否则荷兰人和德国人的反应,也不会如此迅速,如此强烈。
两位负责人先后发表意见,成功为今天的会议定下了基调。
现场众人听完后,脸上都浮现出淡淡的笑容。
这时坐在老师右手旁的弗莱彻,同样没有保持沉默。
他缓缓抬起视线看向坐在主座的李傲,把话题引到这位年轻的总架构师身上:
“多亏了李教授带领我们完成深紫外光源的核心验证,否则纵使再有两年时间,恐怕也找不到摆脱传统放电腔的突破口。
“今早我看网上大家的评论,几乎全在支持李教授。”
全程暂时充当听客的李傲,看到弗莱彻主动聊自己,忙摆了摆手谦逊应声。
“深紫外光源的实验验证能取得这么大的突破,离不开大家的共同努力。不过,针对ASML和蔡司等欧洲企业此次采取的措施,我们必须重视起来才行。
“计算光刻平台与投影光学的研发同样需要加快。”
李傲早上便听说了这件事。欧洲供应商继续施压本就在他预料之中,只是对方反应得如此迅速,仍让他颇感意外。
毕竟ASML那边连光源报价和整机接口都能拿来施压,哪还会在意计算模型和投影光学合作。
“这个确实要重视。”哈特利闻言当即点头认可。
斯坦顿则接话道:“计算光刻和投影光学,都属于下一代光刻系统中不可或缺的重要一环,如果这两项无法同步解决,就算我们成功研发出先进的相干短波光源,照样无法让其发挥出作用。”
李傲基于强耦合物理模型提出了新的光源方案,为获得稳定的相干短波输出找到了突破口,也因此阴差阳错地担任了总架构师。
所以他最初的目标,是把模块化相干短波光源做成工业级实物。
但面对眼下的局势,他也认同两位负责人的判断,不得不调整后续任务安排。
“哈特利博士和斯坦顿博士说得没错。”
他先是对哈特利和斯坦顿的话表达了认可,接着又详细讲出自己的想法。
“目前我们已成功获得稳定的12.1瓦193纳米输出,纳米材料中心正在制备高密度阵列与多模块配套样片,只要样片一就位,随时可以开始针对60瓦工程门槛展开详细验证,解决首阶段的功率扩展问题。
“另外首轮实验在更高阶次上探测到的那道13.5纳米谱线,我们可以在下一轮实验中一并研究。
“高次谐波的转换效率,对各模块内部的局域驱动场强和相位匹配极其敏感。
“下一轮实验中,我们会在把193纳米总输出扩展到60瓦的同时,优化单模块内的泵浦参数、阵列结构和相位匹配,增强13.5纳米通道,再将各模块的极紫外分量单独选出,验证它们能否稳定合成。
“也就是说,第二轮验证实验的目标,不只是一套达到60瓦工程门槛的深紫外光源,还要获得稳定、可功率扩展的13.5纳米极紫外输出,为7纳米工艺的极紫外光刻机整机研发打下基础。
“等到这一阶段完成,我们就有希望在拿下深紫外光源的同时,一步迈进下一代极紫外光刻机的研发。”
话音落下,会议桌旁顿时响起一片压抑不住的吸气声,斯坦顿握着笔的手更是停在半空。
李傲却没有停下,继续说道:
“至于新一代计算光刻平台和相关软件的开发——
“就由我来接手。”
在经过认真的考虑之后,李傲把自己的下阶段目标放在了计算光刻平台开发上。
反正核心原理已经得到验证,不仅获得了稳定的深紫外输出,还成功观测到极紫外谱线。至于多模块功率扩展的研发工作,交给斯坦顿和哈特利两位经验丰富的负责人继续牵头,照样能够平稳推进,并不会耽误项目进度。
而比起光源物理现象的研究,他更适合开发算法、构建软件平台,要知道在计算机领域内他同样是专业的,且拥有着丰富经验。
另外在这一个多月的短波光源验证中,他的智力属性又增长不少,转去开发计算光刻,刚好能让【融会贯通】在另一个学科里碰撞出新的火花。
堪称最优安排。
这样也能确保新光源与配套计算工具尽可能保持相近的研发进度。
只是当他最后这句话在会议室内响起时,却让现场所有人面色一惊。
众人瞬间便瞪大了眼睛,下意识投来疑惑的目光,脑海中也缓缓浮现出一个问号。
大家才刚刚接受李傲从天才数学家到光刻光源总架构师的身份转变,单是这一点,就已经足够令人震惊。
结果现在又告诉他们,李傲除了数学、物理和光刻光源外,竟然还会开发计算光刻软件。
众人集体沉默了将近半分钟,才听哈特利咽了口唾沫,率先确认道:
“李教授还懂计算光刻软件开发?”
“研究过一些,应该可以试试。”李傲点点头大方承认。
这话刚一出口,不远处的弗莱彻便突然想到什么,急忙插嘴补充了一句:
“我想起来了!李教授在芝加哥大学取得过计算机系博士学位,还是谷歌高薪聘请的长期科学顾问。”
然而弗莱彻的这番话,依旧没能打破会议室此刻的氛围。
大家继续保持着沉默。
哈特利和斯坦顿两位负责人,更是嘴唇微动,似乎想说些什么都不知该如何开口。
他们自然也了解过李傲的公开资料,知道他在计算机领域同样有建树,但互联网企业里的算法顾问工作,和工业计算光刻平台开发相比,怎么看都不在一个层次上。
很难让人相信,他拥有开发计算光刻平台的水平。
在光源研发进展顺利的情况下,他突然又转向一个不擅长的领域。
确实让人不太看好。
不过最终考虑到,李傲作为总架构师,本就有权统筹新光源走向整机验证所需的配套研发,加上他平时带来的种种惊喜,以及展现出的堪称变态的跨学科水平,他们还是选择支持这项决定。
念头转到这里,哈特利也不再耽搁,先看向对面的斯坦顿,与他交换了一个眼神,接着便开口表明态度:
“我这里没有任何问题,如果李教授想要把计算光刻算法作为下阶段重心,我和斯坦顿肯定会保证住相干短波光源现在的研发进度和效率。
“争取配合你完成整套下一代光刻技术的独立升级工作。”
……
第474章 我会带领大家在两年内完成(求订阅)
李傲闻言看向哈特利,清楚对方心里肯定存在些许疑问,毕竟相干短波光源的研究刚有成果,他这个项目总架构师便要把精力转移到比较陌生的计算光刻软件开发上。
若无法加快计算光刻平台的开发,光源这边的进展又被迫放缓。
那可就得不偿失了。
不过,他在算法与系统架构方面的经验,主要来自Waymo城市运营平台和龙飞船救援GNC架构等重点工程。
只是这些项目中最能证明其能力的具体贡献与核心架构角色仍受保密约束,他不便拿出来解释。
所以略作思索后,他脸上浮现出淡淡的笑容,这才接过话茬回应道:
“哈特利博士和斯坦顿博士放心,接下来相干短波光源的研发,我也会继续关注并参加研讨会议的。
“下一代光刻系统中的环节,哪个都不能掉队。
“希望到时候我们带给全人类的,是拥有商业水准的完整光刻技术方案,而不是单单一套实验光源。”
哈特利表态时虽然语气坚决,但心里多少还是有些没底。
虽说核心原理已经得到验证,按照李傲提出的多模块矩阵方案,也有望把稳定的193纳米输出提升至60瓦级,并进一步验证13.5纳米极紫外分量能否稳定合成。
但距离真正应用于光刻机上,仍有大量工程问题需要解决。
另外真到了极紫外整机那一步,双工件台还面临着超高速和超精密等瓶颈,做个不恰当的比喻,这就相当于让子弹在飞行中反复急停,每次都要停在同一条刻线上。