在这种情况下，李傲却找到了一条可以模块化扩展的新路，甚至有望绕开复杂的准分子放电腔，对光刻光源进行更新换代，所具有的意义可想而知。
不过斯坦顿在今天之前，想的都是大家先坐在一起，对李傲的设想逐项完善，并尽可能查漏补缺，也好减少首轮原理实验的试错成本。
毕竟从一项大胆的理论设想，到获得可重复的短波输出，中间往往需要不少时间。
但他万万没想到，看完李傲带来的分阶段方案后，整个人直接就被震惊住，再次对真正的天才有了直观体验。
李傲仅用短短几天时间，便独自补全了关键推导、材料制备和实验方案，相当于直接拿出了一份成熟的技术报告。
面对摆在眼前的事实，斯坦顿回顾过往，发现自己遇到的那些所谓天才，和李傲竟没有可比性。
怪不得对方能在数学与物理学界接连创造奇迹。
“原来真正的天才是这样的。”
心中暗自感慨一句后，他刚准备再开口，耳旁便又响起了哈特利的声音。
“Leo，你现在可是整个联合验证计划的主心骨。
“眼下工作才刚刚展开，必须注意身体，保证睡眠，多休息，劳逸结合才行，以后可不能再这么熬夜了。”
哈特利同样看出了这份文件的含金量，心里第一反应便是李傲肯定连续熬了几个通宵，否则实在难以想象这是几天内完成的成果。
外界都说，让李傲这个理论数学家担任工业光源计划的总架构师是白宫的宣传手段。
可现在看来，李傲拥有的工程实力，要比他在公众面前展现出来的强得多。
李傲把哈特利的话悉数听进耳中，知道对方是在关心自己的身体健康。
他当即微笑着接过话茬回应道：
“谢谢您的关心，哈特利博士，我会注意的。”
这些年，他几乎每天都有十八个小时以上处于高强度运转状态，除了学习与科研，还包括雷打不动的日常锻炼。
在【深度睡眠】和【持久耐力】词条的帮助下，虽只用了几天完善设想，真正投入的有效研究时间却比其他人多出许多。
况且有【并行处理】与【全神贯注】的辅助，若还不能把分阶段方案补全，那才真有问题。
“你们年轻人的身体就是好，我和斯坦顿可经不起这么折腾。”哈特利点点头，微笑着打趣道。
斯坦顿接话道：“这话说你自己就行了啊，我可比你还小一岁呢。”
待众人闲谈两句后，斯坦顿忽然神色一肃，郑重地看向李傲，把话题重新引回正事上：
“李教授，阿贡国家实验室的高次谐波实验平台与操作人员已经准备妥当，随时可以配合首轮验证。”
“NIST的核心计量设备与项目骨干也已经到位。”哈特利补充道。
李傲听完两位负责人的话，又看向两旁目光炙热的科学家与工程师们，也终于不再卖关子，嘴角微微上扬，正式拍板作出决定：
“那好，下面我来安排具体任务。”
他这几天沉浸在推导与方案设计中查漏补缺，正是为了尽快验证模块化相干短波光源。
只要证明强耦合微结构阵列可以产生并相干叠加193纳米输出，那么建立独立深紫外光源路线便迈出了最关键的一步。
半导体芯片涉及的行业实在太多，还关系着G-02无人驾驶汽车、人工智能和先进制造等技术的更新迭代，必须用最短时间走出困境才行。
否则只要扩产谈判继续拖延，设备交付、工艺认证和芯片排产便会整体后移，产业界很可能错失宝贵窗口。
尤其是G-02项目，Waymo好不容易才挣来眼下的领先优势。
既然大家都没有意见，他肯定也不会耽搁，话音落下后便直接安排起来。
现有193纳米工业光源的主流技术采用ArF准分子激光，需要以高压脉冲放电反复激励氩、氟与缓冲气体，使其生成寿命极短的ArF准分子，再通过复杂的线宽窄化和光束整形模块，获得可用于曝光的深紫外光。
但要满足晶圆产线所需的曝光速度，光源的平均功率必须做到几十瓦以上，而且要在这个功率下常年稳定运行，这意味着整套系统必须长期处在极端工况下。
除此之外，整套放电与气体循环系统还要长期密封运行，使得系统复杂性大幅上涨。
再加上放电电极不可避免的持续侵蚀，更让工业准分子光源成为工程团队长期维护的噩梦。
而李傲的设想，则是对短波光源系统重新架构。
相较于主流方法依赖单一大型放电腔，他采取了强耦合微结构单元模块化并行的方案。
用同一台主振荡器输出的种子光，分成多路并分别放大为高重复频率泵浦光，照射多个强耦合微结构单元。
通过拓扑界面模与二维等离激元形成的极强局域场增强非线性响应，再将各单元产生的同阶谐波锁定相位，便能相干叠加出稳定的193纳米短波光。
这不但能绕开对传统准分子放电腔的依赖，还具备模块化扩展优势，并规避电极侵蚀与频繁换气带来的麻烦。
有助于延长光源的使用寿命。
随着李傲同众人围绕具体实验展开讨论，原本令大家困惑的东西也立刻变得清晰起来。
众人内心激动之下，毫不掩饰脸上浮现出的期待。
“关于强耦合微结构阵列样片的制备，需要做多层微结构耦合，可以交给阿贡国家实验室的纳米材料中心帮忙攻关。其余安排我没有任何意见。”
斯坦顿全程认真听完李傲的所有安排，待相关任务全部讲完之后，率先开口提出自己的建议，表明态度。
话音刚落。
旁边的哈特利也没有沉默，立刻接过话茬附和道：
“我同意斯坦顿的提议，把样片交给纳米材料中心，会在很大程度上节省我们的时间，这样我们也能更快展开验证。”
李傲对微结构阵列的材料边界与层间参数早有方案。
从某种程度上来说，首批样片的制备难度不算太大，无非需要经历多轮工艺迭代。
本来他还想着亲自盯住微结构阵列的制备，但听完斯坦顿和哈特利两人的建议，顿时觉得交给阿贡纳米材料中心负责更加合适。
刚好自己也能抽出时间和精力，去专注于包括谐波转换在内的其他难题。
联合计划整合的虽然是几家机构原本各自为战的资源，但独立短波光源眼下毫无疑问是联邦优先级最高的项目。
其他参与机构都要尽可能配合。
而且阿贡国家实验室离海德公园只有一个多小时的车程，就算到时候样片制备不顺利，他也能随时过去指点。
思维快速运转之下，李傲没有任何迟疑，当即点头同意了这项安排。
“可以，那么接下来大家各自开始准备吧。
“这次我们的核心挑战，就是在实验室搭建单模块阵列原理装置，把各微结构单元各自产生的谐波变成能够相干叠加的193纳米输出。”
最后郑重说完这番话，也标志着上午这场项目讨论会进入了尾声。
参加会议的每个人都是项目核心人员，因此才刚刚散会，便迫不及待地返回工作岗位，着手开展各自被分配的任务。
李傲作为联合计划的总架构师，除芝加哥大学联合课题组的办公室外，阿贡国家实验室这边也为他设立了项目办公室。
然而就在他准备过去时，却被身后传来的声音打断。
“李教授，请等一下。”
闻言他转过身望去，只见一位三十出头的高个青年，正快步向他小跑过来。
早在召开这场会议之前，李傲便抽时间看过所有核心成员的详细资料，提前了解大家的经历，也好更加合理地分配工作任务。
所以仅注意到对方的身影，他便认出这是阿贡光子学团队最年轻的课题负责人弗莱彻。
同时还是斯坦顿亲自带出来的学生。
于是他停住脚步，待对方走上前后，当即主动开口打起招呼。
“是弗莱彻博士啊，对刚才的任务安排有什么疑问吗？”
“当然没有疑问。”
弗莱彻听到李傲的话，先是猛地摇头表示否定，接着发自内心地回答，“您的实验规划，我佩服还来不及。
“我之前完全没想到，您在短波光源实验设计上的水准，竟丝毫不逊于您在理论数学方面的造诣。
“特别是今天文件中的内容，绝对是我见过最完善详细的分阶段实验报告，我相信这次原理验证肯定能成功。”
弗莱彻原本最担心的，是老师把团队多年积累的准分子方案整体降为备份，把新增的机时和预算全押在这条尚无实物的空想路线上。
直到看完整套方案，他才明白这根本不是赌博式的押宝，也终于明白为什么李傲有资格担任如此重大项目的总架构师和首席科学家。
确实不愧是能让老师和哈特利博士如此激动兴奋的超级天才。
尤其听完李傲对后面的任务安排，他心中更加确定，这次原理验证项目绝对会取得成功。
联想到他们一旦攻克这条独立短波光源路线，甚至沿着它一路推到极紫外波段之后，会给后续光刻机的研发和整个半导体行业带来怎样的改变，他整个人便控制不住地振奋起来。
所以他才会在会议结束时追上李傲，主动跟他搭话，表达自己此刻最真实的想法。
说实话，弗莱彻能在三十出头的年纪，就成为阿贡国家实验室的课题负责人，还率领团队解决过复杂的高次谐波相位漂移问题，并获得斯坦顿的青睐，无论放在哪里都足以称得上一句天才。
而他也始终是这么认为的，哪怕嘴上不说。
可今天他却亲身感受到了，什么才是真正的天才。
想到自己刚才还在心里怀疑这位总架构师是不是名副其实，他颇有些羞愧的感觉，心里相当过意不去。
将弗莱彻的话悉数听进耳中，李傲倒没有多想，只把对方当作接下来并肩攻关的年轻同事，嘴唇微动，跟着回应道：
“我们一定会成功的。接下来这段时间，在实验准备过程中遇到任何问题，都可以随时来找我。”
“好的，李教授。”弗莱彻猛地点了下头，说完也不再过多耽搁李傲的时间。
就这样。
随着讨论会正式确定首轮193纳米原理实验，以阿贡国家实验室和NIST为主整合而成的联合验证计划，也开始高速运转，所有工作逐渐进入正轨。
李傲为了方便项目推进与跨组协调，这段时间干脆把自己的主要工作地点放在了国家实验室的项目办公室。
至于芝加哥大学数学系的新课题与其他学术活动，则只能暂时放缓。
当相关说明出现在学校网站时，引来许多数学专业学生连连惋惜。
纷纷表示接下来很长一段时间，没法听到李教授的报告和讲座了。
不过感叹归感叹，芝加哥大学的学生们对李傲担任总架构师攻关新一代光刻机，全部抱着支持态度。
都希望李傲继数学物理之后，又能带来新的惊喜。
另外值得一提的是，科尔和罗森以及贝内特围绕李氏全局比较定理的进一步应用，开设了新的交叉数学课题，目标直指后年首次评选的李傲数学奖。
接下来的日子里，尽管网上的争论逐渐恢复平静，只剩下一部分科技爱好者每天关注光刻光源研发的进度。
但项目团队成员却是火力全开。
哪怕李傲每次从芝加哥大学回到阿贡国家实验室，也都是先去纳米材料中心。
关注强耦合微结构阵列样片的制备情况。
伊莎贝拉的博士课题本就是强耦合模型的应用研究，眼下跟着卢迪教授一起负责表征工作，现在也加入了光刻光源的攻关课题组，每天还要把新的实验资料整理好发给李傲，正处在博士生涯最忙碌也最充实的一段时间。
这使得两人交流的机会比以前多了许多，在各自忙碌的研究中互相鼓励共同进步。
这段亦师亦友的友谊，愈发牢固。
至于斯坦顿与哈特利两位负责人，以及项目团队的其他科学家和工程师，也都在陆续完成分配下来的任务，把单模块阵列原理装置一步步搭了起来。
转眼一个多月过去，芝加哥也进入了盛夏时节。
当时间来到七月下旬，阿贡国家实验室内，首轮验证所需的光学平台与实时诊断系统正式就位。
可以说仅差最重要的强耦合微结构阵列样片，便能立刻展开实验。