这神人居然还能改ASML的新机器。
“对了，你那天说XT1900i做FinFET至少要三台联动，如果...ASML下一代浸没式出来，单次曝光的制程节点更进一步，那就不需要这么多机器了吧？”
“不能。”梁孟松打量了他一眼，道：“我已经解释过了，需要多台机器这是工序问题，多重曝光的原理是把一个复杂图形拆分成多个简单图形，更好的光刻机只是能让每个工序做得更快一些，提高总体产出。”
梁孟松说到这里又再打量他，眼神里有些疑色。
“而且XT1900i在单次曝光制程上已经很难进步，快到极限了，你不知道？”
陈学兵有点懵了。
我又不是专家，上哪知道去？
而且...这才2007年，你跟我说极限？
“不可能吧？不是听说ASML在研究下一代吗？”
梁孟松见他瞪眼加迷茫，这才细细解释道：
“光刻机的精度提升，离不开一个公式，叫瑞利判据。
“计算公式为CD=k1×λ/NA，CD是单次曝光的线宽，k1是工艺因子，λ是波长，NA是数值孔径。
“需要线宽更小，就必须减小分子，扩大分母，分子k1目前的进步十分缓慢，λ波长是193nm，ARF光源，这也无法更改了。
“而分母，数值孔径NA=n×sinθ，θ是物镜最边缘光线与中轴线的半角，n是介质的折射率。
“浸没式光刻机的光介质是水，折射率比空气大很多，约等于1.44，而这台机器的第二代折反式光学镜头已经把θ拉到了大约70°，sin70°≈0.937，NA已经达到了1.35，差不多逼近极限了。
“所以，下一代光刻机，大概率只能从套刻精度上下功夫，提升多重曝光的能力，而单次曝光CD的极限很难提升了。”
这次梁孟松讲得很慢，而且很细，陈学兵边听边想，仍皱眉头。
“那个...水介质，也就是浸没式，不是降低光源波长来提升制程吗？怎么变成提升NA值了？”
“...”
梁孟松的眼神和陈学兵对上，陈学兵恍惚间看到了他中午对着王兴一般的无语。
不，好像还要更无语。
“你从哪学的伪科学？光源的波长进入任何物质都不会被改变，这是七年级物理课内容。”
“...我学文科的，再说我们大陆课程和你们不一样，初二才有物理，能搞懂干式和浸没式的区别就不错了。”陈学兵强行挽尊。
“好吧。”梁孟松倒也没有纠结，反而赞赏起来：“也是，你这样的投资人愿意了解这些，不多见。”
陈学兵口罩下重新微笑，心里也逐渐清晰起来。
“那工艺因子k1，听起来是和工艺相关？是各个厂家的技术决定吧？”
“对，这是很多技术决定的，拿65nm节点来说，中芯目前应该0.4-0.45之间，而台积电能达到0.32-0.35，所以中芯的65nm节点实际线宽可能是68nm，台积电65nm节点的实际线宽可以达到56nm，双方同代下会有性能差，不过这个问题你不用担心，我会逐步调整的，而且0.25就是理论极限，想继续逼近极限非常难，成熟节点的落差最终不会太大。”
陈学兵听着，有了判断。
那这个k1确实很难产生很大进步了。
波长不能变，NA接近极限。
除了通过提升套刻精度搞更多重的曝光，DUV已经难有提升了。
他这么一想，对EUV就愈发有危机感。
EUV光源的波长缩短十几倍，分子不是一下就缩小了十几倍？
“EUV...你了解吗？”陈学兵试探着问道。
他之前问过张汝京同样的问题，得到的是否定的答案。
梁孟松则迟疑了一下：“EUV？你想问什么？”
他一时没有思路，只能顺着刚才的话题问道：“EUV...也是靠这个公式进步吗？”
“是，不过EUV那样的光源，NA值达不到这么大，首先它波长太短，在任何介质下都会被吃掉，所以传播必须是真空，无法通过水提高折射率，连透镜折射都不行，只能反射，所以它的目标NA值是0.33，很难提升。”
其实这个0.33还有一番算法，梁孟松也不再细讲了，直接给了个答案。
陈学兵倒是听得心里一动：“这方面的理论知识你都清楚？”
梁孟松耸耸肩，笑道：“台积电从去年开始把EUV加入研发路线，林本坚和Anthony Yen负责，尤其是Anthony Yen，深度参与过EUV LLC早期的研究，自带最前沿的Know-how...比起他们，我不算了解。”
“能挖吗？”陈学兵立即道。
“怎么？你妄想做EUV？”梁孟松反笑：“你不是答应台积电不挖他们的人。”
“我答应中芯不挖，没说我不挖。”陈学兵哂笑：“我不动手就好了，不过，我还有一家刚成立的光刻机公司。”
梁孟松都上船了，他也不怕直说。
有些事想弄明白，恐怕也只有直说才行。
“做光刻机？”梁孟松眯了眯眼睛，倒没有太意外，不过随即却摇头：“DUV你有机会，EUV你肯定没机会的，是美国选中了ASML，连尼康和佳能都被排除在外，他们拿到了美国EUV全部专利技术，还有欧洲几十家关键厂商在支持，至今也才做出第一台试验机，离量产还不知道有多少距离，你凭什么觉得你能行？”
陈学兵听得扬了扬眉：“一点也没可能？”
“一点也没有，除非你能拿到美国Cymer的全套光源文件，然后得到德国镜片、奥地利传感器、荷兰精密机械、法国光学涂层...剩下我也不太清楚了，反正几十家厂子吧，全部的支持。”
梁孟松说到后面，已经带着点揶揄口吻了。
陈总又换了个思路：“那...能不能挖他的人？大量那种。”
梁孟松皱了皱眉：“你还没听懂？它是家组装厂，纵使是一家人类工业史上难度最高的组装厂，它的技术人员也必须依靠全套供应链的支持才能做出一台试验机。”
“我是说...挖人，能不能阻断它的研发进程？”陈学兵顿了一下，缓缓道：“你想，我投入了大量的经费让你研发多重曝光，通过这种方式结合FinFET进入14nm制程，按照你的说法，要五年时间，也许还会更久，如果我们刚做出来，EUV研发量产成功，我们是否又要基于EUV的路线，和别人站在同一起跑线研究FinFET？”
他没有提EUV能不能买，就这么假设了一下。
梁孟松沉默了。
而后，语气认真道：“我必须现在就告诉你，EUV的分辨率天生就够做FinFET，只需曝光一次，如果EUV量产，我的FinFET技术研发积累依然会有效，但和DUV多重曝光完全不是一个难度，DUV可以说是地狱式的难度，所以EUV一旦出现，必须放弃DUV路径。不过...我之前不提，不是在骗你投入，而是我认为他们在十年内都很难做出可交付的量产机，你的投入不会是无效的，一定有机会走在世界前列很长一段时间，产生的回报会对得起你的投入。”
台积电不肯走这条路，也有这样的担心，但台积电和中芯不一样，不需要一个翻盘的机会。
对于中芯来说，走这样的路意义就很重大。
况且对他来说，也不想放弃这样一个金主的支持。
“我当然没有怀疑你，我只是说...”陈学兵眼含期待，“有没有可能拖慢他们的进度，让这个领先的过程长一点呢？比如我刚才说的方法。”
“挖人？”梁孟松基于自身的立场想了想，认真和陈学兵聊起这个伤天害理的话题，“大概很难吧，ASML的人才池不是孤岛，是全球协作，补充人员会很快，你能挖他们多少？一百，两百？他们很快就会补充起来。”
陈总失望了一下，随后，恶从胆边生。
“那如果...烧了它呢？”
梁孟松脸颊抖了抖，第一次在陈学兵面前现出了紧张，瞅了一眼张汝京那边，低声喝道：
“这么干，会被通缉的！你知道ASML对美国保密等级有多高？全世界先进光刻机停产，先进制程全部停工，特工，国际刑警都会来查！而且...机器你不想要了？没机器我怎么做研发？”
“哦，对。”陈总长叹一口气。
妈的，他不产，我也拿不到了。
陈总失望之中，梁孟松忽地长长沉吟一声。
“嗯...”
“其实你真想做，有个很安全的办法。”
“嗯？”陈总眼神又亮。
梁孟松有点纠结，作为半导体科研人员，应该以全行业进步为追求，实在不该讨论怎么去阻碍进步。
奈何陈学兵对他的巨额投入，又不能白费。
此时他的立场，竟与这件事捆在一起了。
“哎。”他叹了一声，还是说道：“像我刚才说的那些供应链厂子，有的很重要，但他们很多市值低，家族控股，很容易被利诱，你不用去搞破坏，也不用要求他们对ASML断供，只用要求他们以‘品质升级，工艺优化’这种理由，把ASML的交货周期拉长一半，甚至一倍，ASML的整机集成进度就会被活活拖死，而且还挑不出理，没有任何人有理由去查。”
陈学兵愣住。
梁孟松瞥他一眼，以为他不太满意，又道：“动Cymer也可以，EUV光源是命门，Cymer里面的技术路线本来就吵，你只要能收买技术评审会的人，提一些‘更完美，更严谨，更费时间’的方案，让他们不断推翻原型，ASML的整机进度也会被无线拖后，这样就没有破坏，没有泄密，只有‘技术争论’，帮你做事的人风险很低。”
陈总已经倒吸凉气。
“其实按照你的优势，在他们打算融资的时候放消息做空他们...”
梁博士还欲补充，陈学兵已经抬手。
“够了够了，梁博士，我已经悟了。”
陈总这一刻感觉很多事情茅塞顿开，脑子里的思维如宇宙大爆炸一般。
腹黑指数+1+1+1+1....
他逐渐笑了起来，抬起的手掌收拢，由衷地竖了个大拇指。
“专业。”
这个就叫专业！
第五百一十七章 十亿赌约
从洁净生产区出来，邱慈云差不多已经定下了回中芯的意向。
又在整个厂区逛了一圈，聊了聊。
主要是张汝京离任前的安排。
“陈总，你让我拟定的待收购股东名单，国际对冲基金、短期战略投资者约有7%的持仓，目前中芯的股价有所上扬，市值超过了100亿港元，如果要以10%的小幅溢价收购他们手里的股份，就要花8亿左右。”
“有哪些机构？”
“摩根士丹利持仓有4%，他们是中芯上市的做市商，还有法拉龙资本和老虎基金，都是前两年通过QFII渠道进来的，总共3%，我想让他们先出去。另外还有一些初始小股东其实也有退出意向，比如IBM养老基金，新加坡政府投资公司，高盛亚洲机会基金，但对我们的业务协同都有一些帮助，我希望还是把他们都留下。”
“那先就收这三家吧，剩下45亿以100亿投前估值增发入股，剩下想退出的股东跟他们做好安抚，告诉他们，中芯未来一年会有很大的发展空间，请他们继续帮助中芯，如果仍想退出，以后增资时我会以不低于当前的价格收购他们的股份，这个条件包括一些有退出意愿的大股东在内。”
想退出的可不止这些，还有摩托罗拉，淡马锡，华登这三家，他们手里的股份都接近10%，这次资金不够，陈学兵也没让张汝京跟他们谈，只是沟通了增资的事情。
张汝京一听，顿时轻松起来：“如果是这个条件，我有把握说服他们留下。”
说着，他又感叹道：“这次之后，中芯就是国资格局了。”
陈学兵操作的3G产业投资基金背后也站着两家国资，加上上海国资，此次以后占股会近半。
陈学兵笑了笑：“其实信产部张副打电话跟我沟通过了，就算这次我不入股，信产部也打算让国企进来，备选的有三家，中国电子信息产业集团、华润、大唐。意在通过中央国资加强绑定，怕上海国资扛不起「中国芯」这个国家级任务，不过我先动手了，又有社保和汇金站台，领导也很放心，答应好的政策扶持很快会来，本来还有一些国央企的订单扶持，我帮你们推掉了，眼下中芯借助VEU大量进口设备，暂时不适合做这些单子，让华虹去做吧。”
大家都明白什么意思。
这些订单里如果有涉军，单子真来了，可就不好再推了。
不过陈学兵话却没完，又提醒道：“大家现在极力避免这些事情，也是为了以后能给国家做更大的贡献，我这么说，张部也能理解。”
现在不做，不代表以后不做。
是为了更好的做，做更好的。
张汝京欣慰地笑，邱慈云和梁孟松也明白了陈学兵的立场。