“前烘程序已经结束.....固化胶膜已经完成,十分完美...”
莱西造说完,已然筋疲力尽。
接下来就要下一步:对准与间隙控制。
这一步的关键是通过精密机械系统,将掩膜版与晶圆表面精确对准,同时为此微米级间隙,间隙内通入氮气以减少颗粒污染和静电效应。
旁边的大学生邓书佳在盯着掩膜版,她需要确保该掩膜版表面洁净无缺陷。
李学国亲自操控开关,输入氮气。
执行该步骤的是邢志刚,他需要确保这一步骤能够顺利完成。
大家都屏气凝神,没有吭声。
周志民一直站着没动,也没有主动上手去操控,因为这些步骤过程,必然是大家都非常熟练才对。
更何况,还是各小项目负责人亲自执行这些过程,如果还出现失误,那就只能说明他们是真不行。
当然,已经培训了好几个月,练习了几千上万次这些步骤的工人们,却在今天没有办法进行实操,心里虽然郁闷,但却没人敢表现出来。
除非活腻了,否则的话,没人会在这个时候给自己找不痛快。
做好间隙控制之后,下一步便到了曝光。
陶方起成为这一步骤的负责人,即便他已经训练了无数次,但不知道为什么,现在心里还是有些紧张。
明明周志民就只是站在一旁,也没有说话,但似乎他的威严已经弥漫整个实验室,压迫感十足。
“咳,认真点!”
突然,周志民开口提醒了一句,陶方起整个人瞬间出现鸡皮疙瘩,眼神也更加专注。
曝光这个步骤便是需要将紫外光源的光束经光束矫正器调整后,穿过掩膜版的透明区域,照射到晶圆表面的光刻胶上。
光通过间隙时会发生衍射,影响分辨率,但周志民设计的优化间隙能够提高成像质量。
接下来的步骤便是显影与坚膜,以及刻蚀与去胶这两个步骤。
等完成刻蚀之后,还需要通过离子注入或热扩散工艺,在晶圆特定区域引入磷或硼等杂质原子,形成PN结和晶体管结构。
后续就是重复光刻、刻蚀和掺杂步骤,构建多层电路。
最后才会进行金属化、封装和测试,等测试通过之后,那么该芯片制备工艺边结束了。
一个上午的时间,几乎都在这样紧张的工艺流程当中度过。
仅仅只是一张晶圆片罢了,里面倒是有很多芯片。
在十二点半的时候,第一张晶圆片总算是彻底制备完成,接下来就是测试阶段。
周志民他们生产的晶圆是三百毫米的尺寸,也就是十二英寸。
之所以还是使用国外的标准,那是没办法的事情,因为后续这些芯片肯定还要出售给国外。
仅凭国内的军工企业,压根儿就无法消耗这么多的芯片,除了出口国外,还真没别的路子可走。
当然,肯定要进行技术断代,不能够出口最新一代技术的芯片。
“科长,我们现在进行测试.....”
大家瞬间紧张起来,都期盼有一个好的结果。
第200章 芯片测试,感人的良品率
一九五九年四月九日,京城前门火车站。
人潮汹涌,行人匆匆,但也有很多人刚刚踏出火车站,却驻足不愿意离开,因为他们是第一次来到首都,看什么都觉得希奇,满脸激动和紧张。
也许能够见到伟人呢?
第二次抵达首都火车站的宁振华,已经没有了上次的激动和紧张,有的只是对未来生活的殷切期待和些许茫然。
如此便让他情不自禁地加快脚步,朝着出站口快速奔去。
“老汉儿,你们等等我,太重了.....”
宁克武满头大汗地大声呼喊,但是他老汉儿、弟弟妹妹和姐姐只是回头看了他一眼,便又继续快步前进。
走出来之后,外面的太阳还挺大的,晴空万里。
张力夫已经站在较高的地方,如同游隼一样观察着所有从出站口走出来的游客,很快他就锁定了宁振华、刘红英等人。
霎时间,他立马大声呼喊,同时摇晃手中的纸板,以此吸引宁振华他们的注意。
“宁大爷,东西给我吧。”张力夫快速上前,从宁存孝手中接过对方的行李。
“张同志,我女儿小碗她没来接我们吗?”
刘红英也跟着问了一句,她女婿呢?
“志民让我来接你们,他和宁舒婉同志都有事需要忙碌,不过志民跟我说了,他已经给你们安排好了房子,今晚就到他家里做客....”
周志民确实给宁舒婉娘家人准备好了房子,就在南锣鼓巷旁边的东旺胡同,找街道办租的大杂院。
现在可没有独立四合院了,就算有,那也是有人住的,那可是遗老遗少们,他们自然不缺钱财,肯定不会卖。
宁振华他们点点头,表示理解。
不管是他们女儿,还是女婿周志民,都有自己的事情需要忙碌。
而且周志民已经帮他们迁移户口、找到暂住的居所等,可谓是解决了他们的很多麻烦。
如果因为他们没来接他们,因此对周志民他们不满,那就太没良心了。
做人可不能太白眼狼。
要知道,得道者多助,失道者寡助。
在张力夫的帮忙下,宁振华他们很快来到停车场,坐上汽车,然后直奔东旺胡同。
行李有点多,张力夫也帮忙搬,倒是很快就搬好。
“志民跟我说过,现在没有比较好的房子,这是前院东厢房和耳房,还有这间倒座房作为厨房....”
“总共是五间房,先委屈你们一段时间,志民说他已经再找其他房子了,到时候再搬。”
刘红英他们看完之后,已经非常满意,连连表示不用再搬了,在这里住就挺好的。
虽然他们知道周志民很有能力,但做人得学会知足。
初来乍到,能够有五间房就已经很不错了,还想怎么样呢?
张力夫把他们安顿好之后,就带他们回七七四厂。
之前周志民就交代过了,如果是上午十一点之前接到人,那么就带回七七四厂吃饭,如果是十二点之后,那么午饭就在外面吃。
七七四厂,宁振华他们到了之后,就被送去小食堂。
季宝军闻讯赶来,亲自接待。
“宁大爷,宁同志,刘同志,你们先吃饭,我刚从实验室那边过来,志民他们还在忙,暂时还走不开,他让我跟你们赔罪一声,今天确实挺重要....”
宁振华他们连忙站起来表示不要紧,工作重要。
面对季宝军这样的领导,宁振华他们都十分拘谨,看到这一幕,季宝军也只能够露出和善的微笑。
旁边的食堂主任蔡老四,也尽量让自己笑起来和善一点。
“你们先吃,等下志民忙完了,我就让他马上过来。”季宝军丢下这句话,交代蔡老四一句便起身离开。
他继续待着,只会让宁振华他们不自在,还不如离开,让宁家人好好吃饭呢。
季宝军刚离开,蔡老四也识趣地说了两句场面话,然后也离开了小食堂。
此时的小食堂包厢内,就只有宁振华他们一家人。
宁舒恬拍了拍胸口:
“吓死人了,刚才领导在,我都不敢说话。”
“你不是胆子最大吗?上次还抢桃酥呢,现在怎么胆子那么小了?”宁舒悦瞪了妹妹一眼,挤兑道。
刘红英夹了一块红烧肉给她:
“吃饭吧,这么多好吃的菜都堵不住你们的嘴巴?”
突然,宁存孝开口道:
“我们给小碗对象添了不少麻烦啊,老大,老大家,还有你们几个小的,以后可懂点事儿,别有事没事都找小碗帮忙,做人要懂得知足,明白吗?”
“知道了,老汉儿。”宁振华肃然点头,然后又对着宁舒悦他们四个孩子重复叮嘱了一遍他父亲刚才说过的话。
宁舒悦他们四个孩子,除了点头,还是点头。
此时,机床实验室内,周志民亲自进行检测眼前的芯片。
周凤鸣、赵应贤、冯裕庆他们都站在一旁,屏气凝神地看着。
一张300毫米的晶圆,大概能够生产出一百多枚芯片,这就是这个时代的落后生产力结果。
在后世,芯片面积约为100-150平方毫米,良品率也在80%或80%以上,因此一张300毫米的晶圆自然能够产出300-500枚芯片。
但是,当周志民检测完所有芯片之后,却发现合格可用的芯片仅仅只有九十三枚,还有六十八枚是无法用的。
不过这六十八枚没办法用的芯片,并不是完全没办法用,而是里面的晶体管数量只有两枚或者八枚,远没有达到周志民要求的十枚这个数量标准。
剔除那些只有一枚或者完全没有晶体管的芯片之后,还剩下三十二枚可以用的。
所以总共一百六十一枚芯片当中,内置十枚晶体管的合格可用芯片有九十三枚,良品率为百分之五十七!
垃圾一样的良品率!
但,如果加上那三十二枚芯片(内置两枚到八枚晶体管),那么良品率可以达到百分之七十七。
饶是如此,良品率距离周志民想要的80%这个合格线,还是有差距。
他把数据简单通告了一下,霎时间,实验室内的众人,全都欢呼起来。
李学国、莱西造、邢志刚、陶方起等人,一个个都跟小孩子一样,满脸笑容,还蹦蹦跳跳的。
“志民,你是说这个跟指甲盖大小的金属片内,有十枚晶体管吗?”
赵应贤瞠目结舌,良久反应过来之后,指着其中一枚芯片,颤抖地问道。
此时季宝军刚好从外面进来,对周志民说了句已经见到你老丈人他们一家,安排他们在食堂吃饭。
“好了,老季,你先别说话,志民,等下再说你老丈人的事儿。”赵应贤急道:“你快跟我们说说,这么小的芯片,怎么能内置那么多枚晶体管呢?”
作为七七四厂的二把手,赵应贤专门负责生产业务,所以他对晶体管的尺寸大小,不可谓不熟悉。
指甲盖大小芯片,长宽也就是几厘米罢了,而一枚晶体管,比如锗晶体管的尺寸一般都在几毫米到几厘米之间。
他旁边的冯裕庆就是锗晶体管专家,冯裕庆对晶体管尺寸更了解。
“领导你看,你又急。”
周志民摊了摊手:
“其实我之前在光刻机项目计划书上面就写得很清楚了,我们要研制的是能够制造出亚微米级别晶体管的光刻机,所以我们在过去大半年时间里,才会投入如此巨大的人力物力....”
从动员彭嘉良、杨守忠、徐益民、汪光赫、陈继生等工人开始,再到李学国、张崇庆、马海东、常兴舟、陶方起等大学生。